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    应用材料公司申请用于进行图案化的高品质C膜的脉冲等离子体(DC/RF)沉积专利,提供具有改进的密度、刚度、蚀刻选择性和膜应力的非晶碳层:离子膜烧碱

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    2025-10-15
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    2025-10-15
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